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NextCVD等離(lí)子體(tǐ)改性及刻蝕多功能寬密度等離(lí)子體(tǐ)國内的電(diàn)感耦合等離(lí)子體(tǐ)都是基于中(zhōng)頻(pín)13.56MHz的電(diàn)源發生(shēng)器,等離(lí)子體(tǐ)密度較低,而且是螺旋管式,主要用于等離(lí)子體(tǐ)刻蝕,不适宜用于沉積高質量薄膜。
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