通過
多功能寬密度等離(lí)子體(tǐ)可以研究離(lí)子與材料間的作用
多功能寬密度等離(lí)子體(tǐ)是一(yī)台可以産生(shēng)和維持一(yī)直線段穩态等離(lí)子體(tǐ)的裝置,包含有真空系統、磁約束系統、等離(lí)子體(tǐ)源、真空系統、等離(lí)子體(tǐ)診斷系統、電(diàn)源和其他輔助系統組成。
多功能寬密度等離(lí)子體(tǐ)通過探針、樣品台等工(gōng)具,可研究等離(lí)子體(tǐ)與材料相互作用的基礎問題,如材料的物(wù)理濺射和化學刻蝕、材料中(zhōng)氫和氦滞留/起泡問題、等離(lí)子體(tǐ)破裂對材料的影響模拟等,也可以通過窗口輸入微波,進行等離(lí)子體(tǐ)與波相互作用的研究,其用途十分(fēn)廣泛。
據悉,多功能寬密度等離(lí)子體(tǐ)是目前國内比較大(dà)的直線等離(lí)子體(tǐ)裝置,其真空室直徑500mm,長度6米,并且由于其直線裝置的*結構,後期可以根據物(wù)理實驗的需求在此基礎上延長。在研制過程中(zhōng),中(zhōng)心克服了多磁場不易耦合的問題,與等離(lí)子體(tǐ)所十二室參建人員(yuán)一(yī)起找到了磁場共振位置。其直流放(fàng)電(diàn)等離(lí)子體(tǐ)密度在真空室中(zhōng)心磁鏡弱處達到1650G,等離(lí)子體(tǐ)密度可達1015m-3,并且磁場位形可根據實驗需要進行調整,實現4:1的磁鏡比,單次實驗可穩定連續工(gōng)作10小(xiǎo)時以上。
爲了便于未來物(wù)理實驗的需求,研制中(zhōng)心在設計時采取了模塊化拆裝的方式,避免了每一(yī)次試驗的破壞性拆裝。同時,在充分(fēn)考慮後續實驗需求的基礎上,特别爲裝置預留了匹配13.56MHz的射頻(pín)補償和微波加熱位置。