高速3D激光共聚焦顯微鏡

NS3500三維激光共聚焦顯微鏡

NS-3500是一(yī)種可靠的三維(3D)測量高速共焦激光掃描顯微鏡(CLSM)。通過快速光學掃描模塊和信号處理算法實現實時共焦顯微圖像。在測量和檢測微觀三維結構，如半導體(tǐ)晶片，FPD産品，MEMS設備，玻璃基闆，材料表面等方面擁有*的解決方案。

Features & Benefits（性能及優勢）：

• 高分(fēn)辨無損傷光學3D測量                               自動傾斜補償

• 實時共焦成像                                                 簡單的數據分(fēn)析模式

• 多種光學變焦                                                 雙Z掃描

  大(dà)範圍拼接                                                    半透明基材的特征檢測

• 實時CCD明場和共聚焦成像                            無樣品準備

• 自動聚焦

Software (軟件）：

Application field（應用領域）：

NS-3500是測量低維材料的有前途的解決方案。

可測量微米和亞微米結構的高度，寬度，角度，面積和體(tǐ)積，例如

-半導體(tǐ):IC圖形，凹凸高度，線圈高度，缺陷檢測，CMP工(gōng)藝

- FPD産品:觸摸屏屏幕檢測，ITO圖案，LCD柱間距高度

- MEMS器件:結構三維輪廓，表面粗糙度，MEMS圖形

-玻璃表面:薄膜太陽能電(diàn)池，太陽能電(diàn)池紋理，激光圖案

-材料研究:模具表面檢測，粗糙度，裂紋分(fēn)析

Specification (規格）：

精細和長距離(lí)掃描儀的雙重掃描模式僅适用于NS-3500-S（單鏡頭類型）。                

注1:精細掃描由壓電(diàn)執行器（PZT）執行。

注2 :以100×/ 0.95物(wù)鏡對标準樣品（步長1μm）進行100次測量。      

注 3 :以100×/ 0.95物(wù)鏡對标準樣品（5μm間距）進行100次測量。