探針接觸式輪廓儀系統采用掃描探針顯微鏡光學杠杆位移檢測技術和超平基準面大(dà)樣品台掃描技術，與壓電(diàn)陶瓷（PZT）掃描結合。在不損失精度的情況下(xià)，可以獲得超大(dà)樣本的整體(tǐ)三維輪廓，呈現局部三維形狀圖像。采用超高平整度光學抛光平台掃描樣品台參考平面，有效解決絲杠公差導緻的測試結果亞微米誤差。
1、探針接觸式輪廓儀與掃描探針顯微鏡的結合。
2、雙模式操作（掃描和樣品台掃描）即使在遠距離(lí)測量中(zhōng)也可以獲得最佳的小(xiǎo)區域3D映射。
3、3D形貌測量在幹涉級提供亞納米分(fēn)辨率。
4、在任何物(wù)鏡放(fàng)大(dà)倍數下(xià)都保證亞納米垂直分(fēn)辨率。
5、多種物(wù)鏡可選，包括長工(gōng)作距離(lí)物(wù)鏡、玻璃校正物(wù)鏡、水鏡、油鏡等
6、多環境測量，包括真空、大(dà)氣、液體(tǐ)、透光窗、溫濕度可控環境等。
探針接觸式輪廓儀提供可重複、可靠和準确的測量：從傳統的台階高度測量和二維粗糙度的表面表征到先進的三維形态和薄膜應力分(fēn)析，已被廣泛接受爲測量薄膜厚度、應力、表面粗糙度和形貌的黃金标準，并已應用于從學術研究到半導體(tǐ)過程控制的各個領域。
探針輪廓儀使用在表面上移動通過感測針的高度和波動來确定表面輪廓。探針輪廓儀可以測量高達LMM的高度。該輪廓儀的工(gōng)作原理類似于留聲機。通常，被測表面在探頭下(xià)方移動，但探頭也可能在表面上移動。探頭的垂直運動由線性變化的差動變壓器（LVDT）測量，然後将測量信号轉換爲高度數據。探頭由硬質材料制成，例如金剛石。曲率半徑在0.05μm和50μm之間，這決定了儀器的橫向分(fēn)辨率。
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