電(diàn)化學顯微鏡具有靈敏性
電(diàn)化學顯微鏡是80年代發展起來的一(yī)種電(diàn)化學現場檢測新技術。電(diàn)化學顯微鏡技術驅動非常小(xiǎo)的電(diàn)極(探針)在靠近樣品處進行掃描，樣品可以是金屬、半導體(tǐ)、高分(fēn)子、生(shēng)物(wù)基底等材料。
電(diàn)化學顯微鏡具有化學靈敏性，可測量微區内物(wù)質氧化或還原所産生(shēng)的電(diàn)化學電(diàn)流，從而獲得對應的微區電(diàn)化學和相關信息。它主要由電(diàn)化學部分(fēn)(電(diàn)解池、探頭、基底、各種電(diàn)極和雙恒電(diàn)位儀器)，用來地控制、操作探頭和基底位置的位移驅動器，以及用來控制操作、獲取和分(fēn)析數據的計算機(包括接口)等三部分(fēn)組成。
位移驅動部分(fēn)是通過超精密定位技術(UMDE)實現對探針的三維空間微位移的控制，操縱探頭和基底間保持相對穩定，以便獲得樣品表面信息。它既是SECM控制系統的基本組成部分(fēn)，也是SECM實現納米級分(fēn)辨率的關鍵技術之一(yī)。
爲了獲取樣品盡可能完整的信息，要求驅動位移空間相對樣品有較大(dà)的量程，可達到厘米級别。同時高分(fēn)辨率要求必須是超精密定位，分(fēn)辨率可達到亞微米。因此，SECM的驅動部分(fēn)采用宏微兩級位移控制系統。宏定位采用步進電(diàn)機，微定位采用壓電(diàn)陶瓷。一(yī)個好的驅動控制電(diàn)路是影響SECM位移精度的關鍵因素，因此本文着重于設計二級位移系統的控制電(diàn)路。
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